詳細說明：
ILS系列外延片晶圓激光雕刻機廣泛應用于外延片（芯片、磊晶）行業，主要用來雕刻序列號，品質穩定，雕刻精細，速度快，保證產品質量。臺灣兆晶、上海藍寶、云南藍晶等公司目前都在使用ILS系列芯片激光雕刻機。
原裝進口ILS系列智慧型高精度外延片晶圓激光雕刻機是臺灣**大的工業用鐳射系統制造商悉心研制的具有國際水準的名牌設備，其核心部件全部從美國原裝進口,曾榮獲“臺灣精品獎”；『激光大師』**知名**，臺灣原裝設備。歷經20年市場風雨考驗，**同步銷售。外延片晶圓激光雕刻機以全電腦化操控，人性化設計，**優的性價比而享譽同行，填補了雕刻機不能切割，切割機不能雕刻的行業空白。精彩絕倫的雕刻，無與倫比的切割(高精度半切割/全切割工藝)，1524mm/s**速、超加速的長期無故障運行，是當前外延片晶圓激光雕刻機中的至尊選擇！
ILS系列外延片晶圓激光雕刻機擁有**新設計、易學好用的特性，工作臺面為A2尺寸(或更大尺寸)，電控式Z軸升降，實用貼切的前后開門設計，讓您的加工作業更靈活，更有彈性。工作區有內置照明裝置，這個貼心的設計可使您清晰掌控工作狀況。除此之外，ILS系列外延片晶圓激光雕刻機具有高分辨率、高內存、高速度、高精度、高穩定性等重要特點，堪稱工業用行業標準外延片晶圓激光雕刻機，是掌握速度與精度的**佳雷射系統，是您提高工作效率上的**佳伙伴及有效工具！
外延片晶圓激光雕刻機 軟件特殊效果：
1、斜肩：此功能使得**細線的部分增加了強度
2、反白：點選此功能，能使得黑白反轉
3、鏡射：可自動將圖檔水平反轉
4、補正：可防止原來圖檔中的邊緣被雷射光打到，影響精度
5、打點：可定點打孔，可任意設定停滯及位移的時間
6、位置調整：可任意設定要雕刻或是切割的位置，不需要在電腦上做修正
7、浮雕：可識別顏色及灰度產生浮雕效果
外延片晶圓激光雕刻機技術參數表：
型號
ILS-IIINM
有效工作幅面
660 × 495mm
激光功率
25W / 30W / 55W / 60W / 100W
激光源
美國原裝金屬射頻激光源、風冷
激光波長
10.64μm
功率控制
數位式功率控制，可由0.1～100%無段控制，且可依圖形成比例的控制脈波產生速度，同時可依圖形顏色設定不同功率。
聚焦鏡
標配1.5"聚焦鏡
**大速度
1524mm/sec(60"/sec)
重復精度
0.001mm
定位精度
0.01mm
分辨率（DPI）
1000、500、333、250、200、166
**大容納尺寸
640(L) × ∞ (W) × 210 (H) mm
Z軸工作臺調整
0～210mm、電動升降
記憶體容量
標準64MB高記憶體，可同時存儲99個檔案
顯示熒幕
大尺寸LCD顯示器上有目前執行檔案、激光功率、切割雕刻速度、執行時間、已儲存檔案內容，及自動偵錯等多項功能顯示
傳輸接口
USB接口、以太網絡連接接口
開門設計
前后開門設計
對焦方式
手動/自動對焦
驅動程式語言
可切換中、英文或自定語系
使用軟件
所有Windows兼容的CAD及繪圖軟件皆可
操作方式
可利用Windows兼容的打印機驅動程式來設定，或從操作面板由人工設定
安全規格
符合CDRH Class 1 安全規范，通過CE、RoHS認證
冷卻系統
氣水分離器
排氣設備
外部排氣設備 6.0m3/min、4寸風管
定位指示
紅光模組
可選配置
旋轉輔助器、切割平臺、真空下吸蜂巢網、印章夾具、網絡打印服務器
動力規格
110/220V AC 、10/15AMP、50/60HZ
整機重量
200Kg(25W)
205Kg(30W)
225Kg(55W)
228Kg(60W)
255Kg(100W)
外型尺寸
970(L) ×865(W) ×990 (H) mm
二、
激光大師TM ILS系列智慧型激光雕刻切割機
設備特點: