詳細(xì)說(shuō)明：
在晶圓**微鏡頭的加工中，需通過(guò)晶圓**封裝技術(shù)（WLP）將生成有微鏡頭的6英寸或8英寸晶圓**光學(xué)濾片組裝在**起，再進(jìn)行切割成上千個(gè)相機(jī)模組。晶圓**光學(xué)濾片往往需要在上面進(jìn)行圖形化鍍膜，或者說(shuō)分立鍍膜，以達(dá)到特殊的光學(xué)效果。圖形化的膜層包括金屬膜的圖形化和介質(zhì)膜的圖形化（如紅外截止膜）。
陣列型晶圓**濾光片主要技術(shù)指標(biāo)：
a). 材料：光學(xué)玻璃
b). 光譜特性
420~600nm Tave≥92%,Tmin≥80%
642±12nm T=50%
720~850nm Tave ≤1%
Tmax≤2%
851~1050nm Tave≤ 0.2%
Tmax≤ 1%
c) 崩邊：<1mm
表面品質(zhì)S/D：MIL 40/20
d).翹曲度：<250 μm
f).光刻精度：
**小尺寸：20um
尺寸精度：5um
定位精度：1um
套刻精度:10um
**大尺寸：200mm*200mm