詳細說明：

在晶圓**微鏡頭的加工中，需通過晶圓**封裝技術（WLP）將生成有微鏡頭的6英寸或8英寸晶圓**光學濾片組裝在**起，再進行切割成上千個相機模組。晶圓**光學濾片往往需要在上面進行圖形化鍍膜，或者說分立鍍膜，以達到特殊的光學效果。圖形化的膜層包括金屬膜的圖形化和介質膜的圖形化（如紅外截止膜）。
陣列型晶圓**濾光片主要技術指標：
a). 材料：光學玻璃
b). 光譜特性                                               
     420~600nm     Tave≥92%,Tmin≥80%
     642±12nm     T=50%            
     720~850nm     Tave ≤1%
                   Tmax≤2%
     851~1050nm    Tave≤ 0.2%
                   Tmax≤ 1%           
c) 崩邊：<1mm
   表面品質S/D：MIL 40/20
d).翹曲度：<250 μm
f).光刻精度：
**小尺寸：20um
尺寸精度：5um
定位精度：1um
套刻精度:10um
**大尺寸：200mm*200mm