詳細(xì)說(shuō)明：

CMS系列是高可靠型氣體質(zhì)量流量計(jì)，使用了由山武公司新近開(kāi)發(fā)的微流量傳感器，這種傳感器是感熱式流量傳感單元。超小型結(jié)構(gòu)，高精度的傳感器，高密度集成電路設(shè)計(jì)技術(shù)的結(jié)合使這種儀表具有精度高、測(cè)量范圍大且成本低的優(yōu)點(diǎn)。

MPC: 產(chǎn)品描述 MPC系列氣體質(zhì)量流量控制器,內(nèi)置日本山武公司**創(chuàng)的微流量傳感器和比例閥，高速響應(yīng)，高精度±2%FS，不受壓力和溫度變化的影響。****的面板安裝，操作更簡(jiǎn)單和容易。豐富的功能能夠滿足各種用戶的使用要求。MPC的高精度，直觀性，通用性和**價(jià)位等性能完全替代浮子式流量計(jì)。
①量程：**小0.020L/min, **大20.0L/min
②氣體類(lèi)型: 空氣/氮?dú)?/span>, 氬氣, 二氧化碳 (CO2)
③3種操作模式：全開(kāi)/全閉/控制
④4組SP設(shè)定值；可通過(guò)手動(dòng)或外部開(kāi)關(guān)切換；
⑤3種流量設(shè)定方式：鍵盤(pán)設(shè)定/外部電壓輸入設(shè)定/RS485通訊設(shè)定
⑥流量輸出：1-5V DC, 0-5V DC
⑦輔助功能：2事件輸出；2外部接點(diǎn)輸入；RS485通訊；
⑧外形尺寸：48x48x73.7mm

推廣行業(yè):真空設(shè)備 半導(dǎo)體行業(yè)

點(diǎn)