無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。

　　無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 　　
         
        無塵室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。 　　

        每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。

無塵室的構成
　　無塵室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室：
        (1)天花板系統：
　　包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
        (2)空調系統：
　　包括空氣艙、過濾器系統、風車等。
        (3)隔墻板(Partitional wall)：
　　包括窗戶、門。
        (4)地板：
　　包括高架地板或防靜電地板、以及環氧自流平及滾涂地面。
        (5)照明器具：
　　包括日光燈、黃色燈管等。
       （6）無塵室之建筑主體構造

一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件： 　　
        A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕； 　　
        B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子； 　　
        C.吸濕性小； 　　
        D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高；

無塵室的作用
1. 能除去空氣中飄游之微 無塵室塵粒子。 　　
2. 能防止微塵粒子之產生。 　　
3. 溫度和濕度之控制。 　　
4. 壓力之調節。 　　
5. 有害氣體之排除。 　　
6. 結構物與隔間之氣密性。 　　
7. 靜電之防制。 　　
8. 電磁干擾預防。 　　
9. 安全因素之考慮。 　　
10. 節能之考量。 　　
11.照度的的調節
12.浮游菌及沉降菌的控制